Axcelisのソリューションの重要なメリットは、背後にあるサポートチームの存在です。受賞歴のある当社のグローバルサポートと技術革新組織は、イオン注入のあらゆる側面において比類ない専門知識を有しています。当社には全世界に数百名のサポート技術者がおり、お客様の生産目標を達成し、お客様の当社装置への投資に最大限の利益を還元する責務があるとともに、その実現力があります。
ライフサイクルサポート
当社のグローバルサポートと技術革新チームは、専門家による据え付けやアプリケーションのサポートから進行中のサポート、修理サービスに至るまで、Axcelisとの関わり全体を通じてお客様の力となります。また、お客様の製造工場のスタッフの方々が最短時間で最大のパフォーマンスを発揮できるよう、包括的なトレーニングもご提供しています。
性能強化
当社は、お客様のAxcelis製注入装置のアプリケーション変更や寿命の延長に迅速に対応するための支援をお約束いたします。当社のグローバルサポートと技術革新チームが、進化するお客様のニーズを満たすよう、さまざまなアップグレードや強化を用いて時代を先取り続けるお手伝いをいたします。
特定のプラットフォームに実施可能な性能強化
製品ライン | デバイス性能と歩留まり | 生産性/能力 | ウェハの安全性 | 信頼性 | 保守性 | 稼働時間 |
---|---|---|---|---|---|---|
Purion H | ||||||
Purion M | ||||||
Purion XE Series | ||||||
GSD Series | ||||||
Paradigm Series |