Axcelis 解決方案的一個關鍵優勢是其背後的支援團隊。我們屢獲殊榮的全球支援和創新組織在離子植入的各個方面都擁有無與倫比的專業知識。憑藉著我們在全球擁有數百名支援工程師,我們有能力和承諾來滿足您的生產目標並最大程度地提高您的 Axcelis 投資回報。
完整的生命週期支援
我們的全球支援和創新團隊在您與 Axcelis 的整個合作關係中隨時為您服務, 由專家安裝和製程應用支持到持續支援和維修服務。我們還提供全面的培訓,以確保您的晶圓廠員工在最短的時間內達到最佳表現。
增強表現
我們致力於協助您跟上不斷變化的需求並延長您的 Axcelis 植入機的使用壽命。我們的全球支援和創新團隊可以通過一系列升級和增強功能讓您保持領先地位,以滿足您不斷進化的需求。
適用於特定平台的表現增強
生產線 | 元件電性表現和良率 | 生產力 / 能力 | 晶圓安全 | 可靠度 | 可維護能力 | 正常運行時間 |
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Purion H | ||||||
Purion M | ||||||
Purion XE Series | ||||||
GSD Series | ||||||
Paradigm Series |