Axcelis 解决方案的一大优势在于其背后的支持团队。我们的全球支持和创新部门备受赞誉,在离子注入的方方面面具备无与伦比的专业优势。我们以全球数百名支持工程师为后盾,有能力并承诺满足您的生产目标,让您对 Axcelis 投资回报最大化。

生命周期全程支持

我们的全球支持和创新团队组建就位,从专家安装和应用支持到坚持不懈的支持和维修服务,全方位服务贯穿于您与 Axcelis 合作的全程。我们也提供综合培训,确保您的晶圆厂员工在最短的时间内取得最优表现。

性能增强

我们致力于满足您持续变化的需求,延长您的 Axcelis 注入机的寿命。我们的全球支持和创新团队以一系列的升级增强举措,满足您持续变化的需求,助您始终屹立潮头。

适用于特定平台的性能增强

产品系列器件性能和良率产能/能力晶圆安全可靠性可维修性正常运行时间
Purion H
Purion M
Purion XE Series
GSD Series
Paradigm Series