Purion 离子注入机系列由 Axcelis 与客户合作开发，旨在攻克当今乃至未来 10 纳米及以下晶圆的制程挑战。Purion 平台建立在二十一世纪架构之上，在设计中融入独特的使能技术，以最低的拥有成本，实现至高精度、纯度和产能。