고객과의 협력으로 개발된 Purion 이온 주입기 제품군은 10nm 이하 팹 공정과 관련된 현재와 미래의 어려움을 해결하도록 제작되었습니다. 21세기 아키텍처에 기반한 Purion 플랫폼은 최고 수준의 순도, 정밀도 및 생산성(Purity, Precision and Productivity)을 최소한의 비용으로 제공할 수 있는 독자적인 구현기술로 설계되었습니다.
제품
개요
미래를 위해 구축된 이온주입 공정 플랫폼
고객의 요구를 반영한 맞춤형 설계
특별한 이온 주입 또는 공정 요구 사항이 있습니까? Axcelis 엔지니어는 귀사의 정확한 요구에 맞게 Purion 주입기를 최적화할 수 있도록 협력 개발할 수 있습니다. Purion 플랫폼은 고객 요구사항의 변화에 맞게 함께 발전하여 미래에 대한 투자가치를 보장합니다.
