Purion H200는 시중에 나와 있는 유일한 고전류 중에너지 설비로, 최신 기술을 적용한 싱글 웨이퍼 이온 주입기입니다. 이 설비는 10~230keV로 업계 최대 에너지 범위를 가지고 있습니다. Purion H200은 Purion H의 고전류 파워와 정교한 중전류를 결합하고 Purion M의 고에너지 기능을 활용하여 최신 빔라인 기술을 사용합니다.

순도

Axcelis의 하이브리드 필터링 설계로 금속을 필터링하는 데 사용되며, 에너지 오염을 걸러내는 독점적인 각도 에너지 필터 디자인이 포함되어 있고 포토레지스트 방출 효과를 완화하고 펌핑을 증가시켰습니다.

정밀함

Purion H200에는 정밀한 각도 및 고유하게 일정한 초점의 빔 스캐닝을 이용하여 높은 기울기에서도 기판 상단과 하단에서 동일한 양을 주입하는 Vector 주입량 및 각도 제어 시스템이 포함되어 있습니다.

생산성

고전류 빔라인과 중전류 가속기 설계를 결합하여 중에너지 공간에서 탁월한 생산성을 제공합니다.