세 가지 기술, 하나의 강력한 플랫폼

차세대 Purion 플랫폼에 기반한 Axcelis 이온 주입기 제품군은 최소한의 비용으로 초정밀, 고순도 및 높은 생산성(Purity, Precision and Productivity)을 제공합니다.

테크놀로지소개

혁신적인 이온 소스 테크놀로지

Axcelis의 혁신적인 소스 테크놀로지는 불소 기반 dopant와 H2가스를 함께 사용하여 source 내부에 glitch를 줄이고 텅스텐 금속 오염을 억제하는 동시에 소스 수명은 늘림으로써 주입기의 성능을 향상시킵니다.

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