Purion XE 시리즈 이온 주입기는 최신 공정에 필요한 고에너지 공정에 대응하는 업계 표준 설비로 빠르게 명성을 얻었습니다. Axcelis만의 RF 선형가속기(Linear Accelerator, LINAC) 테크놀로지는 우수한 금속 오염 제어 기술을 통해 경쟁 플랫폼보다 더 높은 신뢰성, 더 넓은 에너지 범위 및 더 큰 생산성을 제공합니다.

순도(Purity)

당사의 RF LINAC 기반 빔라인에 사용된 다중 필터 테크놀로지는 타사의 설계에서 놓친 불순물을 필터링하여 금속 및 미립자 오염을 업계 최저 수준으로 유지합니다.

정밀도(Precision)

독점적인 VectorTM 제어 시스템은 현장 내에서 수평 및 수직 측정과 보정을 수행할 수 있는 독자적인 기능을 통해 진정한 수직방향 (0도) 주입을 실현합니다.

생산성(Productivity)

Purion 고속 엔드스테이션 및 RF LINAC 기반 빔라인은 최대 500WPH의 생산량을 가능하게 해주며, 40keV~15MeV에 달하는 최대 에너지 범위에 걸쳐 업계 최고 수준의 빔 전류를 제공합니다.