携帯電子デバイスがますます小型化し高機能になるなか、先端ロジック半導体メーカーは高性能かつ10nm未満のロジックチップをかつてないほど多量に生産しなければなりません。効果的に競合をしのぎ、収益性の高い先端ロジックのビジネスチャンスをつかむには、数々の技術的課題を克服する必要があります

主な製造上の課題：

  • 接触抵抗の低下
  • 無欠陥エピタキシの確保
  • パーティクルと金属混入の最小化

Axcelisのソリューション：

当社は、業界最先端のイオン注入ソリューションを用いて、これらの課題に対する先端ロジックチップメーカーの取り組みを支援いたします。当社のPurionプラットフォームは以下をご提供いたします。

  • 当社独自のVector™制御システムによる精密な角度制御
  • 他にはないパーティクル・金属混入制御
  • 高温注入・低温注入の両方に対応する幅広い温度範囲
  • 材料改質能力
  • ガリウム注入能力

当社の高電流、高エネルギー、中電流向けPurionソリューションについて