半導体業界が新技術やより大きなウェハへと絶えず前進する一方、成熟プロセス技術を用いる製造工場は、さまざまな用途向けに大量のチップの生産を続けています。既存の200mmの製造工場オーナーは、自工場にある既存のプロセス技術を最大限に活用できるソリューションを求めています。

主な製造上の課題：

  • 生産性の向上
  • 各種ウェハサイズへの対応
  • 広範な製品構成への対応

Axcelisのソリューション：

当社は、業界最先端のイオン注入ソリューションを用いて、これらの課題に対する成熟プロセス技術の取り組みを支援いたします。Axcelisは以下をご提供いたします。

  • 200mm製造工場への貢献
  • 製造工場の性能と能力を向上させ、既存の技術ノードを拡張する継続的改善プログラム

高電流、高エネルギー、中電流のPurionソリューション、および高電流と高エネルギーバッチプロセス用のGSD Ovationソリューションについて説明します。