세 가지 기술, 하나의 강력한 플랫폼

차세대 Purion 플랫폼에 기반한 Axcelis 이온 주입기 제품군은 최소한의 비용으로 초정밀, 고순도 및 높은 생산성(Purity, Precision and Productivity)을 제공합니다.